賽微電子受邀協辦2021(十三屆)傳感器與MEMS產業化技術國際研討會（暨成果展）

    由中科院上海微系統與信息技術研究所傳感技術聯合國家重點實驗室、中國電子學會傳感與微系統技術分會主辦，北京賽微電子股份有限公司協辦,由廈門半導體投資集團有限公司、上海龍媒商務咨詢有限公司承辦的“2021(十三屆)傳感器與MEMS產業化技術國際研討會（暨成果展)”在中國廈門召開。  

     本次論壇邀請傳感器與MEMS領域國際知名專家以及業界頂尖企業、政府機構、高校、科、研、院所的重要嘉賓發表主題演講，就業內最前沿技術和中國MEMS產業現狀及發展機遇，共同探討交流。

      賽微電子董事長楊云春先生在會上發表“建設全球化布局的MEMS先進代工服務平臺”為主題的演講。在他看來，目前各類MEMS器件(傳感器、驅動器等)已在現代社會得到廣泛應用，從傳統的航空導航、工業控制、生物醫療、礦源勘探、消費電子、安防監控，到目前火爆的5G&6G高頻通信、人工智能、無人駕駛、萬物互聯(IOT)，運用MEMS工藝制造與革命的器件與產品種類有望迅速擴充，同時也產生了一一對應的“定制化”工藝制造技術，對MEMS芯片代工制造企業提出了新的挑戰。

      基于20年的工藝開發及制造實踐積累，賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems通過對MEMS產品工藝制造技術進行系統性分析、歸類，將各產品關鍵制造工藝進行萃取并加以對比分析，進一步得到共性關鍵工藝。再對這些工藝進行聚焦研發、IP布署，逐漸建成模塊化的大規模MEMS工藝制造體系。該等舉措成效顯著：2019-2020年賽微電子全資子公司瑞典Silex Microsystems AB在全球MEMS晶圓代工排名中均位居第一。

     本次會議中，賽微電子展出了瑞典Silex（FAB1&2）的幾款代表性產品，包括：

    【RF MEMS開關】RF MEMS 開關是電子系統最基本的組成部分之一， 電子MEMS開關是電子系統的革新者，服務于多個行業，包括下一代5G移動網絡，工業物聯網市場，電池管理，智能家居，電子汽車和醫療儀器。MEMS開關是一種低損耗，高功率開關，僅需幾皮安即可工作，其運行速度比典型的機械開關快1000倍。

   【MEMS諧振器】MEMS諧振器用于產生高穩定基準頻率的計時設備，該基準頻率可以測量時間。這些參考頻率可用于對電子系統進行排序，管理數據傳輸，定義射頻頻率并測量經過的時間。MEMS振蕩器具有更好的抵抗振動和機械沖擊的彈性，并具有相對于溫度變化的可靠性。

    【MEMS硅光子】硅光子技術是在硅基材料的平面排列中引導光的方法，主要用于創建用于光纖電信的發送器和接收器。由于能將更多的傳輸信息壓縮到給定的帶寬，給定的占位以及給定的成本，硅光子學有望徹底改變光通信市場。

    【基于MEMS的芯片實驗室】該芯片用于疾病的快速早期檢測。它是第一個提供自動操作的完全集成的分子診斷系統，將臨床樣品制備，核酸提取以及微流體實時聚合酶鏈反應（PCR）擴增和檢測功能整合到一個獨立的系統中。它可以同時滿足批處理工作流和按需測試的要求，以最大程度地提高實驗室效率和靈活性，并且該系統目前已在與新冠狀病毒的戰斗中部署。

   【MEMS醫療壓力傳感器】MEMS技術是推動人體內部使用的未來醫療設備的關鍵推動力。該樣本顯示了世界上最小的壓力傳感器，該傳感器用于外科導管上以局部測量人心臟小冠狀動脈中的血壓。

     賽萊克斯北京8英寸MEMS國際代工項目是北京市集成電路產業重點項目，公司與全球最大的純MEMS代工企業瑞典Silex Microsystem是兄弟公司，依托于瑞典賽萊克斯近20年的技術積淀和MEMS量產經驗，由國家專家牽頭組織工藝技術開發，廣泛吸納來自全球范圍內的半導體產業高端人才，共同致力于MEMS國際代工線建設，加快國產MEMS傳感器產品的產業化進程，推動中國MEMS技術發展和進步。

     本次會議中，賽微電子展出了賽萊克斯北京（FAB3）的幾款代表性產品，包括：

    【1701B-振膜在上MEMS結構】新型結構1701B產品可運用于換彈式或注入式電子煙產品，實現開關情況下的大電容變化量，提升MEMS控制開關的容錯能力，可有效解決電子煙自啟動的行業痛點，同時解決電子煙因使用過程種產生的漏油而導致的電子煙自燃問題。

    【2701-振膜在下MEMS結構】特殊振膜結構2701產品運用于高端TWS ANC產品，突破SNR> 64 dB，有效提升市面上背進聲硅麥耐強聲壓和防塵效果；實現極佳的低頻相位一致性，在20Hz時相位一致性≤3°。

    【新品-振膜在下MEMS結構】一款高性能消費類TWS耳機麥克風芯片。

     2016年，賽微電子以7.5億元人民幣的價格完成對Silex的控股收購后進行了良好的整合，Silex成為賽微電子全資子公司，同時也是賽微電子MEMS業務板塊的核心工廠之一。2020年9月，賽萊克斯8英寸MEMS國際代工項目建成通線，在技術跨國轉移遭遇瑞典戰略產品檢驗局（the Swedish Inspectorate of Strategic Products，簡稱為 ISP）干擾的背景下，于2021年6月實現正式生產，賽微電子同時在瑞典斯德哥爾摩和中國北京兩地擁有了業界先進、高質量運營的8英寸MEMS產線，且瑞典及北京MEMS產線均在持續新建擴充產能。從定位上看，北京MEMS產線更是可以提供標準化的規模產能，在積累共性關鍵工藝制造技術的基礎上建設世界級MEMS代工服務平臺，有利于賽微電子進一步拓展全球尤其是亞洲市場，更好地為下游客戶服務，同時繼續擴大公司MEMS業務的競爭優勢，繼續保持在MEMS純代工領域的全球領先地位。

     近年來，全球傳感器市場一直保持快速增長，在MEMS傳感器應用前景良好和國產化進程提速背景下，賽微電子以半導體業務為核心，面向物聯網與人工智能時代，一方面重點發展MEMS工藝開發與晶圓制造業務，一方面積極布局GaN材料與器件業務，致力于成為一家立足本土、國際化發展的知名半導體科技企業集團。